半導體晶圓制造廠內AMHS( 自動物料搬送系統 - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸,即晶圓純運輸機器人負責Interbay,作為工序區間搬送系統;復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業。兩者可相互對接協作,應用于工序區間或工廠間運輸。更加全面實現全廠物料自動搬運。
半導體晶圓制造廠內AMHS( 自動物料搬送系統 - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸,即晶圓純運輸機器人負責Interbay,作為工序區間搬送系統;復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業。兩者可相互對接協作,應用于工序區間或工廠間運輸。更加全面實現全廠物料自動搬運。